Leitz PMM-Xi系列高性能测量机将超高精度与优异的动态性能结合在一起，测量周期短、测量效率高，提供了快速数据采集和先进的高速扫描技术，从而进一步提升了过程控制的效率。源自Leitz的三维探测技术，具备高速扫描功能，能够快速采集大量数据。Leitz PMM-Xi系列超高精度测量机还能够完成形状测量。